FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liu)量傳感器

簡要(yào)描述：

FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liu)量傳感器适(shi)用于各類清(qing)潔氣體🐉。*的封(feng)裝👉技術使之(zhi)可用于各類(lèi)管徑，成本低(dī)、易安裝、不需(xu)要溫度壓力(lì)補償，可替代(dài)容積式或壓(yā)差式的傳統(tong)流量傳💛感器(qi)。

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詳細(xì)介紹

産品簡(jian)介：

FS4001系列實驗(yan)室氣體流量(liang)傳感器 是專門爲各(ge)類小流量氣(qi)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計的。這🍓一(yī)系列傳感器(qì)均采用本公(gōng)司自主研發(fā)的微機電系(xì)統（ MEMS ）流量(liàng)傳感芯片來(lái)制作。

FS4001系列實(shí)驗室氣體流(liú)量傳感器 适用于各(gè)類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yú)各類管徑，成(chéng)本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力補償，可(kě)替代容積式(shi)或壓差式的(de)傳😄統流量傳(chuan)感器。

産品特點(dian)：
- 傳感器(qì)靈敏度高 , 有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱質(zhi)量流量計量(liàng) , 無需溫(wēn)度壓力補償(chang) , 保證了(le)傳
- 感器(qì)的高精度計(jì)量
- 在單(dan)個芯片上實(shi)現了多傳感(gǎn)器集成 , 使傳感器的(de)量程比大大(dà)提高
- 傳(chuan)感器的零點(diǎn)穩定度高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量程高精(jing)确度和優良(liang)的重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間(jiān)快

機械(xiè)尺寸：

主要參數(shù)：

性能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄(piao)移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式	線性(xing)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大(dà)流量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力	0.5		MPa
工(gōng)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械接(jiē)口	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校準(zhun)方式	空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g

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