FS4001系(xi)列實驗(yàn)室氣體(ti)流量傳(chuan)感器 是專(zhuān)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liang)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)💚。這一☂️系(xì)列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhǔ)研發的(de)微🔅機電(diàn)系統( MEMS )流量(liàng)傳感芯(xin)片來制(zhi)作。
FS4001系列(liè)實驗室(shì)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器 适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各類(lèi)㊙️管徑,成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(li)補償,可(kě)替代容(rong)☔積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。
機(jī)械尺寸(cùn):
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FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
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大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
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量程(chéng)比 |
>100:1 |
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精 度(dù) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
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零(líng)點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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線性,RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
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0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
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存(cun)儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH(無結(jie)冰、無凝(níng)露) |
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機械(xiè)接口 |
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校準方(fang)式 |
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15 |
g |
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