FS4001系(xi)列小流量(liang)氣體質量(liàng)流量傳感(gan)器

簡要描(miáo)述：

FS4001系列小(xiǎo)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器是(shi)專門爲各(gè)類小💚流👨‍❤️‍👨量(liàng)氣🛀體的測(cè)量和過程(chéng)控制而設(shè)計的。這一(yi)系列傳感(gan)器均采用(yòng)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xì)統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來(lai)制作，适用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yòng)于各類管(guan)徑，成本低(dī)、易安裝、不(bú)需要溫度(du)壓力補償(cháng)，可替代✊容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統㊙️流量傳(chuan)感器。

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詳細(xi)介紹

産品(pin)簡介：

FS4001系列(lie)小流量氣(qì)體質量流(liú)量傳感器(qi) 是專門爲(wei)各類小流(liu)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(ér)設🧑🏽‍🤝‍🧑🏻計的。這(zhè)一系列傳(chuán)感器均采(cǎi)用本公司(sī)自主研發(fā)的微🏃🏻‍♂️機電(diàn)系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片(pian)來制作，适(shi)用于各類(lei)💰清潔氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lèi)管徑，成本(běn)低、易安裝(zhuang)、不需要溫(wēn)度壓力補(bǔ)償，可替代(dai)容積式或(huo)🌐壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感🏃‍♂️器。

産(chǎn)品特點：

FS4001系列小(xiao)流量氣體(tǐ)質量流量(liàng)傳感器 靈(ling)敏度高,有(you)小的始動(dong)流量傳感(gan)器芯片采(cai)用熱質量(liang)流量計量(liang),無需溫度(du)壓力補償(chang),保證了傳(chuán)感器的高(gao)精度計量(liàng)在單個芯(xin)片💘上實現(xian)了多傳感(gǎn)器集成,使(shǐ)傳感器的(de)量程比大(dà)🐅大提高☔傳(chuan)感器的零(líng)點穩定度(dù)高全量🈲程(cheng)高穩定性(xing)全量程高(gāo)精确度🏃‍♂️和(he)優良的重(zhong)複性低功(gong)耗低壓損(sun)響應時間(jiān)快
主要參(cān)數：

性能參(cān)數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零點(diǎn)輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc
大流(liú)量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chāi)式軟管接(jiē)頭
校準方(fāng)式	空氣（或(huò)其他氣體(ti)），20oC，101.325kPa
重量	15		g