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FS4001系(xi)列小流量氣(qi)體質量流量(liang)傳感器

産品(pin)時間：2025-12-01

FS4001系列小流(liu)量氣體質量(liàng)流量傳感器(qi)是專門爲各(gè)類小流㊙️量氣(qi)📧體的測量和(he)過程控制而(ér)設計的。這一(yī)系列傳感器(qì)均采用本⛹🏻‍♀️公(gong)司自主研發(fa)的微機電系(xi)統（MEMS）流量傳👉感(gan)芯片🧑🏽‍🤝‍🧑🏻來制作(zuò)，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shi)之可用于各(gè)類管徑，成本(ben)低、易安裝、不(bu)需要溫度壓(ya)力補償，可替(ti)代🧡容積式或(huò)壓差式的傳(chuán)統流量傳感(gan)器。

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詳(xiang)細介紹

産品(pin)簡介：

FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gǎn)器 是專門爲(wei)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhi)而設計的。這(zhe)一系列傳感(gan)器均采用本(ben)公司自主研(yan)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量👨‍❤️‍👨傳(chuán)感芯片來制(zhì)作，适用于各(gè)類清潔氣☀️體(ti)。*的封🔞裝技術(shù)使之可用于(yú)各類管徑，成(cheng)本低、易安裝(zhuāng)🔆、不需要溫度(du)壓力補償，可(kě)替代容積式(shì)或壓差式的(de)傳♻️統流量傳(chuán)感器。

産品特(te)點：

FS4001系列(lie)小流量氣體(ti)質量流量傳(chuán)感器 靈敏度(du)高,有小的始(shǐ)動流量傳感(gǎn)器芯片采用(yòng)熱質量♌流✨量(liang)計量,無需溫(wēn)度壓力補償(cháng),保證了傳感(gan)器的🔞高精度(dù)計量在單個(gè)芯片上實現(xiàn)了多傳感器(qi)集成,使傳感(gǎn)器的量程比(bi)大🈲大提高傳(chuan)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quán)量🔞程高穩定(ding)性全量程高(gao)精确度🌐和優(yōu)良的重複性(xing)低功㊙️耗低壓(ya)損響應時間(jiān)快
主要參數(shu)：

性能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄(piao)移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式	線性(xing)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大(dà)流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工(gōng)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械接(jiē)口	可拆式軟(ruan)管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g