流量測量技術之(zhi) 微小流量 的測量     
半(ban)導體制造業、生物(wù)工程、精細化工等(deng)的興起，使流量測(ce)量向低端延伸，小(xiao)流量計流量的要(yào)求在上世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起(qǐ)來。何謂小流量 ? 業界尚無*的定(dìng)義和界限，小流量(liang)因應用領域而異(yì)是一個模糊的概(gai)念。管道小流量測(cè)量體現于管徑小(xiao)和流速低兩個層(céng)次，就流程工業而(ér)言，習慣上 DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管徑(jìng)流量測量稱之小(xiǎo)流量測量，通常其(qi)流量🈲值液🔴體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以下，流(liú)量儀表滿度流量(liàng)時的流速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法(fa)
傳統小流量(liàng)測量技術節流差(chà)壓 ( 層流 ) 法、浮子法和容積(jī)法等有了的改進(jìn)，新測量技術如超(chao)聲🈲法、熱法、科裏奧(ào)利法等也有成效(xiào)地應于液體和氣(qi)⚽體小⭐流量測量。
2 、特點
微小(xiǎo)流量與一般流量(liàng)測量相比較，具有(yǒu)以下特點。
1) 雷(lei)諾數低
一般(ban)管道流動均爲紊(wen)流流動，流量儀表(biao)也是針對紊流🤩流(liú)動态😄設計的，而小(xiǎo)流量儀表因管徑(jing)小常處于層流流(liú)動 ( 例如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層(ceng)流 / 紊流過渡(du)區流态流動，小流(liu)量測量受使用中(zhong)流體黏度變化影(ying)響頗大。
2) 要用(yong)實際使用流體校(xiao)準
液體流量(liàng)儀表一般用水校(xiào)準，氣體用空氣校(xiao)準。若知道實際測(ce)量流體與校準流(liu)體間某些物性不(bu)同對示值有🥰規律(lü)變化時，中大管徑(jing)流量儀表常以适(shì)當系數修正。但有(yǒu)些小流量儀表受(shou)黏♋度等流體物性(xing)影響大🎯，須以實際(ji)🔱使用流體校準。所(suǒ)幸流量小，用實際(jì)使用流體校準難(nan)度💁不大，但在作有(you)害性流體校準時(shí)應注意安全和環(huan)境污染。
3) 要求(qiu)測量時防止污染(rǎn)流體
若測量(liang)潔淨氣體和純水(shuǐ)常不允許接觸流(liu)體的儀表零件☎️材(cái)料🔱析出離子，例如(ru)半導體制備中儀(yí)表不能用金屬和(he)玻璃制💃成，隻㊙️能用(yong)塑料。流體中也不(bu)允👅許混入⛹🏻‍♀️活動件(jiàn)的磨蝕塵粒。流🏃🏻‍♂️量(liang)儀表流通通道要(yào)盡可能簡單，不應(yīng)有潴留 ( 指液(ye)體在體内不正常(cháng)地聚集停留 ) 部位，防止潴留介(jiè)質變質。
4) 氣泡(pào)和塵埃附着的影(ying)響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液體中(zhong)微細氣泡易在管(guǎn)系流動過程中積(jī)聚變大，使測量時(shí)指示不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃附着(zhe)測量元件也要影(yǐng)響測量值，例如浮(fu)子流量計的浮子(zi)上沉積有肉眼覺(jiào)察🏃🏻不出的附着⛹🏻‍♀️層(ceng)也會影響示值。
5) 流量儀表品種(zhǒng)使用上受到一定(ding)限制
在衆多(duo)測量原理流量儀(yí)表中，因各種原因(yīn)小流量應用受到(dao)一些限制，當前能(neng)應用于小流量的(de)品種如表格所示(shì)