流量測(ce)量技術之 微小流量(liàng) 的測量(liàng)     
半導體(tǐ)制造業、生物(wù)工程、精細化(huà)工等的興起(qǐ)，使流量測量(liàng)向低端延伸(shen)，小流量計流(liú)量的要求在(zai)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xiàn)，小流量因應(yīng)用領域而異(yì)是一個模糊(hu)的概念。管道(dao)小流量測量(liang)體現于管徑(jìng)小和流速低(di)兩個層💞次，就(jiu)🌍流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liu)量測量稱之(zhi)小流量測量(liàng)，通常其流量(liang)值液🐅體👣爲🥵 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀表(biao)滿度流量時(shí)的流速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測(ce)量方法
傳統小流量(liang)測量技術節(jiē)流差壓 ( 層流 ) 法(fǎ)、浮子法和容(rong)積法等有了(le)的改進，新測(cè)量技術如超(chao)聲法、熱法、科(ke)裏奧利法等(děng)也有成效地(dì)應于液體和(he)氣體小流量(liang)測量。
2 、特(tè)點
微小(xiao)流量與一般(bān)流量測量相(xiàng)比較，具有以(yi)下特點🈚。
1) 雷諾數低
一般管道(dao)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liang)儀表也是針(zhen)對紊流流動(dòng)☂️态✊設計的，而(er)小流量儀表(biǎo)因管徑小常(chang)處于層流流(liú)動 ( 例如(rú)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huò)層流 / 紊(wěn)流過渡區流(liú)态流動，小流(liú)量測量受使(shi)用中流體黏(nian)度變化👉影🈲響(xiǎng)頗大。
2) 要(yào)用實際使用(yòng)流體校準
液體流量(liàng)儀表一般用(yong)水校準，氣體(ti)用空氣校準(zhun)。若知道實際(ji)🏒測量流體與(yu)校準流體間(jian)某些物性不(bu)同對示值有(you)規律變化時(shí)，中🔱大管徑流(liú)量儀表常以(yi)适當系數修(xiū)正。但有些小(xiao)🚶‍♀️流量儀表受(shòu)黏✏️度等流體(tǐ)物性影響大(da)☂️，須以實際使(shǐ)用流體校準(zhun)。所幸流量小(xiǎo)，用🈲實際使用(yòng)流體校準難(nán)度💋不大，但在(zai)作有害性流(liú)體🈲校準時應(yīng)注意安全和(hé)環境污染。
3) 要求測量(liàng)時防止污染(ran)流體
若(ruo)測量潔淨氣(qì)體和純水常(chang)不允許接觸(chu)流體的儀表(biǎo)零件材料析(xi)出離子，例如(rú)半導體制備(bèi)中儀表不✔️能(néng)用金屬和玻(bō)璃制成，隻能(neng)用塑料。流體(ti)中也不允許(xǔ)混入活動件(jian)的磨蝕塵粒(lì)。流🤟量儀表🈲流(liu)通通道要盡(jin)可能簡單，不(bu)應有🌐潴留 ( 指液體在(zài)體内不正常(cháng)地聚集停留(liú) ) 部位，防(fang)止潴留介質(zhi)變質。
4) 氣(qi)泡和塵埃附(fu)着的影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液(yè)體中微細氣(qì)泡易在管系(xì)流動過程中(zhōng)📞積聚變大，使(shi)測量時指示(shì)不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃(āi)✔️附着測量元(yuan)件也要影響(xiang)測量值，例如(rú)浮子流量計(jì)的浮子上沉(chén)積有肉眼覺(jiào)察不出的附(fù)着層也會影(ying)響示值。
5) 流量儀表品(pǐn)種使用上受(shòu)到一定限制(zhì)
在衆多(duo)測量原理流(liu)量儀表中，因(yin)各種原因小(xiao)流量應用受(shòu)到一些限制(zhì)，當前能應用(yòng)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示