fs4001小流量(liàng)氣體質(zhì)量流量(liàng)傳感器(qi)

簡要(yao)描述：

siargo ltd fs4001小(xiǎo)流量氣(qi)體質量(liàng)流量傳(chuán)感器是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiao)流量氣(qi)🔆體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhì)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuán)🈲感器均(jun1)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò)，适用于(yu)各類清(qīng)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yi)安裝🎯、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(róng)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuan)感器。

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詳細(xi)介紹

微型(xing)小流量(liàng)氣體流(liu)量計,廣(guǎng)州氣體(ti)流量計(jì), 深(shen)圳轉子(zi)流量計(jì), 廣(guǎng)東實驗(yan)室氣體(ti)流量計(ji) ,東(dong)莞數顯(xiǎn)氣體質(zhi)量流量(liang)計小流(liu)量電磁(ci)流量計(jì) 微流量(liàng)流量計(ji) 微小流(liu)量計濕(shi)式氣體(ti)流量計(jì) 超聲波(bō)氣體流(liú)量計

fs4001小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liu)量傳感(gan)器

産品(pin)特點：傳感(gan)器靈敏(mǐn)度高,有(yǒu)極小的(de)始動流(liú)量傳感(gǎn)器芯片(pian)采用熱(re)質量流(liu)量計量(liang),無需溫(wen)度壓力(li)補償,保(bǎo)證了傳(chuán)感器的(de)高精度(du)計量在(zài)單個芯(xīn)片上實(shi)現了多(duō)傳感器(qi)集成,使(shi)傳感器(qì)的量程(chéng)比大大(dà)提高傳(chuan)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gāo)全量程(cheng)高穩定(dìng)性全量(liang)程高精(jīng)确度和(he)優良的(de)重複性(xing)低功耗(hao)低壓損(sun)響應時(shí)間快.
fs4001小流(liú)量氣體(ti)質量流(liu)量傳感(gǎn)器 主要(yào)參數：

性(xìng)能參數(shù)	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(chéng)比	≥100:1
精度(dù)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shì)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露）
機械(xie)接口	可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tou)
校準方(fang)式	空氣(qì)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g