fs4001小流量(liang)氣體質量流量(liang)傳感器
簡要描述：
siargo ltd fs4001小(xiao)流量氣體質量(liang)流量傳感器是(shi)專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測(ce)量和過程控制(zhì)而設計的。這一(yī)系列傳感器💰均(jun1)采用本公司自(zì)主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量♊傳(chuán)感芯片來制作(zuo)，适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技👉術使之可用(yòng)于各類管徑，成(chéng)本🔞低、易安裝、不(bu)需要溫🌍度壓力(lì)補償，可替代容(róng)積式或壓差式(shi)的傳統流量傳(chuán)感器。
微型(xing)小流量氣體流(liu)量計,廣州 深(shēn)圳 轉子流量計(jì), 廣東 實驗(yan)室氣體流量計(ji) ,東莞 數顯(xiǎn)氣體質量流量(liang)計 小流量電磁(cí)流量計 微流量(liang)流量計 微小流(liu)量計 濕式氣體(ti)流量計 超聲波(bo)氣體流量計
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傳感器靈敏(min)度高,有極小的(de)始動流量傳感(gǎn)器芯片✍️采用熱(rè)質量流量計量(liang),無需溫度壓力(lì)補償,保證了傳(chuán)感器的高精🌐度(dù)計量在👣單個芯(xīn)片上實現了多(duō)傳感器集成,使(shǐ)傳✌️感器的量程(cheng)比大大提高傳(chuan)感器的零點穩(wen)定度高全量程(chéng)高穩定性全量(liàng)程高精确度🌈和(he)優良的重複性(xing)低功耗低壓損(sun)響應🈲時間快.
主要參數：
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性(xing)能參數 |
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單位 |
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1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
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SCCM |
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量程(cheng)比 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chu)飄移 |
mV |
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±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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大流量壓損 |
350 |
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大(da)工作壓力 |
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MPa |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結(jie)冰、無凝露） |
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機械(xiè)接口 |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準方(fang)式 |
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重量 |
15 |
g |
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機械(xie)尺寸：
