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mf4001廣東(dong)微小口(kǒu)徑氣體(tǐ)質量流(liu)量計

産(chan)品時間(jiān)：2025-12-01

簡要描(miao)述：

mf4001廣東(dong)微小口(kou)徑氣體(ti)質量流(liu)量計是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的測(cè)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuán)感器均(jun1)采用本(ben)公👌司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo)，适用于(yú)各✊類清(qīng)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(cheng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(róng)🔞積式或(huo)壓差式(shì)的傳統(tong)流🙇🏻量傳(chuan)感器。

詳細(xi)介紹

mf4001廣(guǎng)東微小(xiao)口徑氣(qì)體質量(liàng)流量計(jì) 産(chan)品特點(diǎn)：
- 傳(chuán)感器靈(ling)敏度高(gāo) , 有(you)極小的(de)始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量流量(liang)計量 , 無需(xū)溫度壓(yā)力補償(chang) , 保(bao)證了傳(chuan)
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(ji)量
- 在單個(gè)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gan)器集成(chéng) , 使(shǐ)傳感器(qì)的量程(chéng)比大大(dà)提高
- 傳感(gan)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
- 全量(liàng)程高穩(wěn)定性
- 全量(liang)程高精(jīng)确度和(he)優良的(de)重複性(xìng)
- 低(di)功耗
- 低壓(ya)損
- 響應時(shi)間快

mf4001廣(guǎng)東微小(xiao)口徑氣(qi)體質量(liàng)流量計(ji) 機(jī)械尺寸(cùn)：

主要(yào)參數：

性(xìng)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精度(dù)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shì)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝(níng)露）
機械(xie)接口	可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tóu)
校準方(fāng)式	空氣(qi)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g

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