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FS4001系列測量氣(qi)體流量傳感器

簡要描述(shù)：

FS4001系列測量氣體流(liu)量傳感器是專門(mén)爲各類小流量氣(qi)體的測量和過程(cheng)控制而設計的。這(zhe)一系列傳感器均(jun)采用🚶本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xì)統（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作💃，适用于各(gè)類清潔氣體。

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詳(xiáng)細介紹

簡介：

FS4001系列(liè)測量氣體流量傳(chuán)感器 是專門(mén)爲各類小流量氣(qì)體的測量和過程(chéng)控制而設🈲計的✔️。這(zhè)一🈲系列傳感器均(jun1)采用本公司自主(zhu)研發的微機電系(xì)統（ MEMS ）流量傳感(gan)芯片來制作。

FS4001系列(lie)測量氣體流量傳(chuán)感器 适用于(yú)各類清潔氣體。*的(de)封裝技術使之可(ke)用于各類管徑，成(cheng)本低、易安裝、不需(xū)要溫度壓力補償(cháng)，可替代容積式或(huo)壓差式的傳統流(liu)量傳感器。

産品特點：
- 傳感器靈敏度高(gāo) , 有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量 , 無需溫度壓力補(bǔ)償 , 保證了傳(chuán)
- 感器的高精(jing)度計量
- 在單(dan)個芯片上實現了(le)多傳感器集成 , 使傳感器的量(liàng)程比大大提高
- 傳感器的零點(dian)穩定度高
- 全(quan)量程高穩定性
- 全量程高精确(que)度和優良的重複(fú)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快
主(zhǔ)要參數：

FS4001

1.8

大流量(liàng)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

±(1.5+0.2FS)

重複(fú)性

0.25

%讀數

±30

輸出飄移

%/oC

響(xiǎng)應時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源(yuan)

8~18Vdc,50mA

輸出方式

大流量壓(yā)損

300

大工作壓力

工(gong)作溫度

存儲溫度(dù)

-20 ~ +65

工作濕度

<95%RH（無結冰(bīng)、無凝露）

校準方式

空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa

重量

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FS4001系列測量氣(qi)體流量傳感器

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