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FS4001系(xì)列測量(liang)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器
産品(pǐn)時間:2025-12-01
簡(jian)要描述(shù):
FS4001系列測(ce)量氣體(ti)流量傳(chuán)感器是(shì)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhì)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun)采用🐇本(ben)公司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)(MEMS)流量傳(chuán)✊感芯片(piàn)來制作(zuò)♈,适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(ti)。
簡介:
FS4001系(xi)列測量(liang)氣體流(liú)量傳感(gan)器 是專門(mén)爲各類(lei)小流量(liang)氣體的(de)測量和(he)過程控(kong)制而👈設(shè)計的💰。這(zhe)一系列(liè)傳感器(qì)均采用(yòng)本公司(si)自主研(yan)發的微(wei)機電🙇♀️系(xì)統🚩( MEMS )流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò)。
FS4001系列測(ce)量氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器 适用(yòng)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(fēng)裝技術(shù)使之可(ke)用于各(gè)類管💋徑(jing),成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yào)溫度壓(yā)力補償(cháng),可替代(dài)容積式(shi)或壓差(cha)式的傳(chuán)統流量(liang)傳感器(qì)。
産品(pǐn)特點:
-
傳感(gan)器靈敏(mǐn)度高
,
有極(ji)小的始(shi)動流量(liàng)
-
傳(chuan)感器芯(xīn)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(jì)量
,
無需溫(wen)度壓力(li)補償
,
保證(zhèng)了傳
-
感器(qì)的高精(jīng)度計量(liang)
-
在(zài)單個芯(xin)片上實(shí)現了多(duo)傳感器(qi)集成
,
使傳(chuan)感器的(de)量程比(bi)大大提(tí)高
-
傳感器(qi)的零點(dian)穩定度(du)高
-
全量程(chéng)高穩定(ding)性
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全量程(cheng)高精确(què)度和優(you)良的重(zhòng)複性
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低功(gōng)耗
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低壓損(sǔn)
-
響(xiǎng)應時間(jian)快
主要參(can)數:
|
性能(néng)參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
|
|
通 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
|
量程比(bi) |
>100:1 |
|
|
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀(dú)數 |
|
|
零點(diǎn)輸出飄(piao)移 |
±30 |
mV |
|
|
輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響(xiǎng)應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作電(dian)源 |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸出(chu)方式 |
線(xian)性,RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
|
|
|
大(da)流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
|
大工(gōng)作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
|
|
工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
工(gong)作濕度(dù) |
<95%RH(無結冰(bing)、無凝露(lu)) |
|
|
|
機械接(jiē)口 |
可拆(chāi)式軟管(guǎn)接頭 |
|
|
|
校(xiao)準方式(shì) |
空氣(或(huò)其他氣(qì)體),20oC,101.325kPa |
|
|
|
重量(liàng) |
15 |
g |
|
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