微小氣體流(liú)量計,MF4001氣體流(liu)量計

簡要描述(shù)：

微小氣體流(liu)量計,MF4001氣體流(liú)量計是廣州(zhōu)迪川儀器儀(yí)表有✔️限公🌂司(si)專門爲各類(lèi)小流量氣體(ti)的測量和過(guo)✊程控制而設(she)計的。這一系(xì)列傳感器均(jun1)采用本公司(sī)📧自主研⛱️發的(de)微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯(xīn)片來制作，适(shì)用于各類🧡清(qing)潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之(zhī)可用于各類(lèi)💛管徑，成本低(dī)、易安裝、不需(xu)要溫度壓力(li)🙇‍♀️補償，可替代(dài)🌈容積式或壓(yā)差式的傳統(tǒng)流量傳感器(qi)。

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詳細(xì)介紹

微小氣(qì)體流量計,MF4001氣(qi)體流量計

産品簡介(jiè)：
FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gǎn)器是廣州迪(dí)川儀器儀📱表(biǎo)有限公司專(zhuan)門爲各類小(xiǎo)流量氣體的(de)測量🔞和過😄程(cheng)控制而設計(jì)♍的。這一系列(liè)傳感器均采(cǎi)用本公司自(zi)主研發的微(wei)機電系統（ MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作(zuò)，适用于各類(lei)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shi)👈之可用于各(gè)類管徑，成本(ben)低、易安裝、不(bú)需🔞要溫度壓(ya)力補❌償，可替(tì)代容積式或(huò)壓差式的傳(chuan)統流量傳感(gan)器。
産品(pǐn)特點：微小氣(qi)體流量計,MF4001氣(qì)體流量計
- 傳感器靈(ling)敏度高 ,有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感器芯片(piàn)采用熱質量(liang)流量計量 ,無需溫度(du)壓力補償 ,保證了傳(chuan)
- 感器的(de)高精度計量(liang)
- 在單個(gè)芯片上實現(xiàn)了多傳感器(qì)集成 ,使(shǐ)傳感器的量(liàng)程比大大提(ti)高
- 傳感(gan)器的零點穩(wen)定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全(quán)量程高精确(què)度和優良的(de)重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快(kuài)
主要參(cān)數：

性能(néng)參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
zui大(dà)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量(liàng)程比	2132132132131231312100:1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀數
零(ling)點輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄(piao)移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gōng)作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓(yā)損	350	300	pa
zui大工(gong)作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露）
機械接口(kǒu)	可拆式(shì)軟管接頭
校準方式(shì)	空氣（或(huò)其他氣體）， 20oC， 101.325kPa
重量(liàng)	15		g